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RTF1200转动式PECVD系统

RTF1200转动式PECVD系统

RTF1200

产品介绍

用户评价

(1)、表面温度高可达1420℃

(2)、表面为不锈钢色(非常亮、客户识别时要注意)、不会生锈,使用时间再长都不会掉渣。

(3)、Kanthal电阻丝资料下载

(4)、Kanthal电阻丝网站:www.kanthal.com

(5)、电阻均衡、温场均衡性好                                                                                                         


当电路过流或漏电时,空开会自动断开。


该炉配有通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出

  

1、真空吸滤成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛。

2、采用日本技术成型。

3、炉膛里电阻丝的间距和节距全部按日本最优的热工技术布置、经过热工软件模拟温场

4、采用4周加热,温场更加均衡


1. 为了增加抽气速率,达到更高真空的要求。可将原有软管接头更换成KF-25接口(VS-0.1和VS高真空系统接口皆为KF25)

2. 如用于供气系统,可将原有软管接头更换成Φ6.35mm双卡套接头. 

3.  转动电机功率: 40W

4. 电动推杆功率:40W

5.  炉子倾斜角度: -10~30度

6.  炉管转动速率 :采用无级变速电机  转速可在1-25转/min 之间可调

7.  转动密封方式 : 采用转动磁流体密封

8. 四周表面温度:≤45℃

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